打磨碳化硅需要哪种抛光垫？
发布时间：
2023-11-03
打磨碳化硅需要哪种抛光垫？
打磨碳化硅衬底分研磨和抛光4道工序：粗磨、精磨、粗抛、精抛。抛光垫的选择根据CMP工艺制程的不同搭配不同的研磨垫：粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫。
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广东用革精密科技有限公司
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2023-11-03
打磨碳化硅需要哪种抛光垫？
打磨碳化硅衬底分研磨和抛光4道工序：粗磨、精磨、粗抛、精抛。抛光垫的选择根据CMP工艺制程的不同搭配不同的研磨垫：粗磨垫/精磨垫/粗抛垫/精抛垫。
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